產(chǎn)品中心
Product Center當前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品檢測探針臺
高溫真空探針臺KT-Z1604TZ,可單選高溫或低溫等相應組件,溫度可達到400℃。以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差。
真空手動探針臺變溫射頻探針熱臺該腔體設(shè)計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達<5Pa分子泵可達<-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭,保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面,探針頂尖處由3軸可移動探針手動調(diào)節(jié)移動至被測試器件的引腳處,外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。