真空探針臺是一個低成本不需要低溫制冷劑的探針臺，它可以對器件進(jìn)行非破壞性的測試，器件的尺寸可達(dá)到51mm，可以對材料或器件的電學(xué)特性測量、光電特性測量、參數(shù)測量、high Z測量、DC測量、RF測量和微波特性測量提供一個測試平臺。

　　真空探針臺主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境，以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來的測試結(jié)果誤差。因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時，空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上，會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

　　下面為您介紹真空探針臺所具備的特點(diǎn)：

　　1、2.25T垂直超導(dǎo)磁場。

　　2、高溫選件溫度范圍：20K到500K。

　　3、采用閉循環(huán)制冷機(jī)制冷，不需消耗任何液氮或液氦，基本系統(tǒng)溫度范圍：10K到350K。

　　4、探針臂分別在防輻射屏和樣品臺上熱沉，溫度可以低至25K。

　　5、控溫穩(wěn)定性：±50mK。

　　6、探針臂傳上安裝溫度感器進(jìn)行溫度監(jiān)測。

　　7、低振動設(shè)計：在樣品臺<1μm ( X, Y, Z軸)。

　　8、各種樣品架適于低噪音，高頻，高阻測量。

　　9、測量DC到67GHz。

　　10、測試樣品尺寸51mm（2in）直徑，可使用6個探針臂。

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